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制造半导体器件需要纯度较高的电子级四氟化锗,其纯度一般需达到5N级别以上。
四氟化锗是一种分子式为GeF4的无机化合物,外观呈无色气体状,有辛辣大蒜气味,能溶于水,能腐蚀汞和润滑脂,在半导体、光学、化学、材料科学等领域应用广泛。
四氟化锗生产方法多样,主要有卤素交换法,是指以氟化锑与四氯化锗为原材料,经过化学反应生成四氟化锗的方法;热分解法,是指以六氟化锗酸盐为原材料,在石英管中加热到约700℃经分解得到四氟化锗的方法;直接氟化法,是指以金属锗与氟气为原材料,直接氟化生成四氟化锗的方法。其中最常用的四氟化锗生产方法为卤素交换法。
四氟化锗是一类重要的无机化合物,在半导体领域,其主要用于掺杂和离子注入环节,四氟化锗可以与乙硅烷气体结合,直接在玻璃基底上制造硅锗微晶,进而用于制造低噪声低温放大器、整流器、振荡器等半导体器件;在光学领域,四氟化锗可作为添加剂用于光学玻璃制造场景,发挥着改善光学玻璃折射率与色散性能作用,还可作为原材料用于光学纤维、光学薄膜制造场景。
根据新思界产业研究中心发布的《2023-2027年中国四氟化锗(GeF4)市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,其中半导体是四氟化锗主要应用领域,当前在全球半导体产业蓬勃发展背景下,四氟化锗市场需求正持续增加。制造半导体器件需要纯度较高的电子级四氟化锗,其纯度一般需达到5N级别以上。电子级四氟化锗技术壁垒较高,目前全球产能主要集中在欧洲、美国、日本等发达国家企业手中,包括德国Linde集团、美国Entegris、美国Gelest、比利时Umicore、日本中央硝子等。
我国电子级四氟化锗生产能力较低,四氟化锗生产企业主要有广西航宇科技、中船(邯郸)派瑞特种气体、云南临沧鑫圆锗业、安徽盛权光电子材料、合肥和悦工业气体、远潜江电子特气、安徽创联新能源等。其中云南锗业正在积极研发电子级四氯化锗,目前该项目已进入中试阶段,未来有望加速实现规模化量产。
新思界产业分析人员表示,四氟化锗是一类重要的无机化合物,在半导体、光学、化工领域有着广阔的应用前景。从国内市场来看,当前在全球半导体产业向中国转移趋势持续加深背景下,我国四氟化锗市场需求正不断增加,但用于该领域的电子级四氟化锗尚未实现技术突破,仍依赖于进口,因此未来本土相关企业还需持续加大电子级四氟化锗研发力度。
原文标题:【洞察】四氟化锗(GeF4)应用前景广阔 本土企业还需加大电子级四氟化锗研发力度
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